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二氧化硅陶瓷通过添加SiO2超微粉末,成功地实现了SiO2陶瓷的低温烧结。在12 50°C的温度下,获得了密度接近理论值的高纯SiO2陶瓷靶材、对于不同微粉含量的靶材进行了断口形貌分析及其密度的比较。实验结果证明,超微粉的添加对SiO2低温下的致密烧结有明显的促进效果。
1、常压烧结法制备ZnO陶瓷靶材。
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